使用臺式X熒光光譜儀進行樣品的檢測過程中，會存在一定的干擾問題，那這些干擾都有哪些，讓我們儀器來看一看。
1.在X射線熒光光譜儀的分析中，某些元素的譜線可能全部或部分重疊?；緟?shù)方程要求使用不受線重疊影響的凈強度。
2.在X射線光譜儀的分析中，某些元素之間可能存在元素間干擾或基體效應(yīng)。補償這些影響的經(jīng)驗方法是制備一系列濃度范圍覆蓋此分析范圍的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)曲線。這時，我們需要仔細設(shè)計參考物料。也就是說，所有不需要分析的元素的含量是固定的，但是要分析的元素的濃度是不同的，這叫做基體匹配。當(dāng)然，在X射線熒光光譜儀的分析中，可以用數(shù)學(xué)方法來補償元素或基體之間的影響。
3.干擾也可能來自康普頓譜線或X射線管中靶材所產(chǎn)生的特征曲線，可以用濾輪去除，但是會在一定程度上降低分析譜線強度。
4.在X射線熒光光譜儀的分析中，由于目標(biāo)元素的密度受樣品的質(zhì)量吸收系數(shù)的影響，干擾也可能來自金相組織的誤差，數(shù)學(xué)模型假設(shè)材料是均勻的，這會導(dǎo)致誤差。例如，在含有碳和碳化物的鋼中，鈦和鎳可能以鈦鎳碳化物的形式存在。與鐵相比，鈦的K-a光譜具有較低的質(zhì)量吸收系數(shù)，且鈦的密度比鐵的高。
5.對于X射線熒光光譜儀而言，分析偏差是由于樣品的固相注射性質(zhì)和表面性質(zhì)與標(biāo)準(zhǔn)樣品不同而引起的。
總之，樣品與標(biāo)準(zhǔn)樣品的差異越大，誤差越大。所謂差異包括：基體材料的物理化學(xué)性質(zhì)，如上述密度、結(jié)構(gòu)、成分和濃度、表面狀況，甚至試樣中待測元素的含量是否在標(biāo)樣范圍內(nèi)、各試樣的位置等，這些都會影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。